При создании волоконно-оптических гироскопов широко используются интегральные оптические схемы (ИОС), с помощью которых световые пучки от источника света подводятся к волокну, производится деление и последующее объединение световых пучков, обеспечивается фазовая модуляция и т.д. Основными элементами ИОС являются оптические волноводы, среди которых чаще всего используются канальные волноводы. При изготовлении канальных волноводов необходимо использовать подложку, на которой образован плоский слой оптически прозрачного материала, являющийся уже по сути дела плоским оптическим волноводом.
Основными методами изготовления плоских волноводов являются:
- распыление диэлектрических пленок;
- бомбардировка ионами (протонами);
- диффузия атомов примесей;
- эпитаксиальное выращивание.
Рис. 1
После создания подложки с плоским оптическим волноводом на поверхности пластины можно одновременно задать поперечные размеры ряда канальных волноводов, используя обычную фотолитографическую технику, подобную той, которая используется в технологии изготовления электрических интегральных схем. Обычный метод изготовления канальных волноводов состоит в нанесении на образец с плоским волноводом фоторезиста, облучение его ультра-фиолетовым или рентгеновским излучением через контактно наложенную маску, которая и определяет форму волновода при проявлении фоторезиста, после чего на поверхности образца остается картина требуемой структуры, как это показано на рис. 1.